产品详细
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| 参考距离*1 | 45 mm |
| 测量范围 | ±3.5 mm |
| 测量角度*2 | ±15.5° |
| 光斑直径* | φ20/40/320 μm |
| 重复精度*4 | 140 nm |
| 线性误差*5 | <±0.7 μm |
| 外径*长度 | 中 3 6 * 8 4 . 2 m m |
| 重量 | 200 g |
| 最小可测厚度 | 5%ofF.S. |
| 温度特征 | <0.03%F.S./℃ |
| 防护等级 | IP40 |
*1以量程中心位置计算
*2使用标准平面反射镜，在1kHz采样率下倾斜测试；
*3测量锐利玻璃边缘，采用亚微米定位精度运动平台以激光干涉仪为位移基准验证，光斑直径数值分别对应于小光斑/大光斑/四光点式光斑的直径数值；
*4测量标准镀银膜反射镜，1kHz无平均，连续采集10000组数据的均方根偏差；
*5采用纳米级高精度激光干涉仪标定验证
*6不同后缀的区分为—N：近参考距离，F：远参考距离，S：小体积，L：大体积，H：高温版（工作温度：-10℃~150℃）；为优化产品体验，本系列产品（不含C2000）标识色环已升级为橙色。您收到的产品色环可能存在新旧版本差异，外观以实际到货为准，产品性能与品质不受影响。
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