产品详细
中空伺服电机
分类：
Spin Motor产品特征：
高速电机结构：额定转速：5000rpm，最大转速6000rpm
超快的加速/减速时间：47750R/S²
低噪音、低震动、轴端跳动系数低
采用真空空心轴设计，轴端独特的设计，确保chunk运行平稳
采用水冷却系统设计:750/1000W
电机整体全不锈钢设计，符合半导体现场应用
轴端可以为客户进行定制化设计专用电机
电话：13905841486
关键字：
工控机
产品详细
中空伺服电机产品应用：
高速旋转和真空吸附
①法 兰： 90mm ~ 100mm flange
②速度范围： 5,000rpm ~ 8,000rpm，最大加速度：47750R/S²
③额定转矩： 1.91Nm ~ 2.50Nm（功率750W-1000KW）
④轴 定 制 ： 电机轴长度或者密封机构做定制
中空伺服电机Spin Motor应用特征：
1、6寸、8寸、 12寸半导体设备
2、涂胶、显影、清洗等制程
3、最大加速度可以达到47750R/S²瞬时加速
4、根据半导体行业特殊性，轴端 特别设计，确保轴端负载跳动系数
5、转速偏差1转
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